⒈ 在半导体表面上生成一层能促进电性能稳定的氧化层,通常将晶体管表面与周围电的和化学的条件相隔离,以减少反向漏电流,提高击穿电压,增加功耗的定额。
英passivation;
⒉ 金属经强氧化剂或电化学方法氧化处理,使呈钝状的过程。
⒊ 催化剂、血清等活性的破坏。
英inactivation;
1、结果表明,钝化膜是由表层和过渡层组成的双层结构。
2、化学钝化:将制件放在含有氧化剂的溶液中处理,使表面形成一层很薄的钝态保护膜的过程。
3、在陡河电厂的亚临界参数锅炉上已采用了碱处理洗硅与钝化工艺,并取得了良好的经济效果。