⒈ 犯法。
引汉 刘向 《说苑·至公》：“少焉， 虞丘子 家干法， 孙叔敖 执而戮之。”《后汉书·虞延传》：“於是外戚敛手，莫敢干法。”《新唐书·王翃传》：“悍将 凌正 数干法不逞，约其徒夜斩关逐 翃。”
1、阐述了二氧化矽干法蚀刻的原理和主要的蚀刻参数。
2、在器件中引入增益耦合机制以提高单模成品率，并采用感应耦合等离子体干法刻蚀技术以降低调制器电容。
3、潮湿细粒煤炭干法深度筛分是筛分技术急需解决的问题。
