1、静电计是一个理想的库仑计,因为它具有非常低的输入偏置电流和很高的输入电阻。
2、本发明属于微电子器件和微加工方法,特别是涉及一种对电荷超敏感的库仑计及其制备方法。
3、在库仑计中反馈电路为电容器。
4、源阻抗的大小能够影响反馈库仑计的噪声性能。